6H-SiC材料与器件辐照效应的研究进展

6H-SiC材料与器件辐照效应的研究进展

牟维兵;龚敏;杨治美

【期刊名称】《材料导报》 【年(卷),期】2009(023)005

【摘要】介绍了6H-SiC材料和器件辐照效应研究的目的和方法,并对国内外最近几年的研究情况进行了介绍、分析和总结.指出目前的研究主要集中于辐射效应方面,但在抗辐射加固技术方面研究不足,国内应根据现有条件注重辐射效应机理方面的研究.

【总页数】5页(13-16,29)

【关键词】6H-SiC;辐照效应;研究现状;发展趋势 【作者】牟维兵;龚敏;杨治美

【作者单位】四川大学物理学院,成都,610064;中物院电子工程研究所,绵阳,621900;四川大学物理学院,成都,610064;四川大学物理学院,成都,610064 【正文语种】中文

【中图分类】O485;O571133 【相关文献】

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