DOC NO WI 指导文件 一、目的. 膜厚仪操作规范 文件编号 REV 版本 PAGE页码 WI-076 A 1 of 2 为操作人员正确使用膜厚仪，确保测试结果的有效性及延长其使用寿命. 二、范围. 品保处使用之Ficsher膜厚仪. 三、权责. 品保处Ficsher膜厚仪之使用、维护、保养及保管. 四、操作步骤. 1、正面版图. (1).ESC键：用于在查看统计值和通过MENU(菜单)键进行内部设置时中途退回测量接口. (2) ：用于功能键的切换和减少可变量值. (3) ： 用于功能键的切换和增大可变量值. (4).OK键：相当于ENTER键，另外在RES测量状态时按OK键可随时测量数据的统计值. (5).探头. (6).LCD. (7).显示灯. 2、使用方法. (1).开机/关机：处于关闭状态的仪器放在工件上将自动开机，当屏幕上显示四段水平短线时， 仪器处于待机状态即可测量工件了；经过一段时间不使用，仪器自动关机. (2).测量：仪器会自动选择测量方法；使用电涡流感应方法时屏幕上将显示NFe，使用电磁场感 应方法时屏幕上将显示Fe，测量时应保持仪器处于垂直状态. (3).当屏幕上的功能键位于RES处时，按OK键将依次显示测量数据的平均值、标准误差、测量次 数、最小值及最大值，按ESC键可退回测量状态. (4).如果事先设定了Block.length（数据组长度），例如5，则仪器测完第5个数据时将自动显 示平均值. (5).零位校正：通过 、 键切换到菜单的O位置→按OK键屏幕上显示Base→在Fe片或AI片上测 量几次→按OK键零位校正完成，仪器返回RES测量状态. DOC NO WI 指导文件 膜厚仪操作规范 文件编号 REV 版本 PAGE页码 WI-076 A 2 of 2 (6).校准：通过 、、 键切换到菜单的CAL位置→按OK键屏幕上显示Base→在Fe片或AI片上测量 量几次→按OK键屏幕上显示STDI→将标准片放在底材上测量几次，按 或 键将测量值调 整为标准片的标准值→按OK键校准完成，仪器返回RES测量状态. (7).设定/删除上下限和偏差补偿值：通过 、 键切换到菜单TOL位置→按OK键，屏幕上显示 MIN，按 、 输入最小值→按OK键，屏幕上显示MAX，按|、}键输入最大值→按OK键，屏 幕上显示OFFS，按 、 键输入偏差补偿值→按OK键，完成设定，仪器返回RES测量状态. a.如果要跳过某一项，比如不需要OFFS，直接按OK键跳过. b.将最小值设为0即可删除上、下限. c.设定下下限后，如果测量数据小于最小值，仪器将响两声且屏幕上显示MIN及q符号； 如果测量数据大于最大值，仪器也将响两声且屏幕上显示MAX及p符号. 五、注意事项. 1、因仪器小巧，请防止跌落. 2、不要用手触摸显示屏，以保持清洁要防止其受到撞击. 3、请保持被测工件的干燥，防止弄脏损坏探头，影响测量的精度和稳定性. 4、若发生故障请及时与仪校单位或厂商联系处理. 显示灯 LCD ESC OK DOC NO WI 指导文件 膜厚仪操作规范 文件编号 REV 版本 PAGE页码 WI-076 A 3 of 2
膜厚仪操作规范
