多路高精度扩散炉温度控制系统的设计

多路高精度扩散炉温度控制系统的设计

张瀚文;张博;杜岩;李栋;孟国营

【期刊名称】《微型机与应用》 【年(卷),期】2013(032)017

【摘要】针对传统的扩散炉温度控制系统的精度低、生产工艺控制能力差的现状,设计实现了扩散炉多路高精度温度检测控制系统.系统采用三路热电偶采集扩散炉内温度值并通过基于Smith预估的PID控制,控制三组加热装置的启停,以达到对炉温的控制,控制精度可达1‰,并采用液晶显示模块和按键组成人机交互界面.

【总页数】4页(83-85,88)

【关键词】单片机;扩散炉;温度控制;热电偶;Smith预估器 【作者】张瀚文;张博;杜岩;李栋;孟国营

【作者单位】中国矿业大学(北京)机电与信息工程学院,北京100083;中国矿业大学(北京)机电与信息工程学院,北京100083;中国矿业大学(北京)机电与信息工程学院,北京100083;中国矿业大学(北京)机电与信息工程学院,北京100083;中国矿业大学(北京)机电与信息工程学院,北京100083 【正文语种】中文 【中图分类】TP271 【相关文献】

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