测试方法原理集锦（转载）
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（一）、透射电子显微镜 1、基本原理
在光学显微镜下无法看清小于0.2μm的细微结构，这些结构称为亚显微结构
（submicroscopic structures）或超微结构（ultramicroscopic structures；
ultrastructures）。要想看清这些结构，就必须选择波长更短的光源，以提高显微镜的分辨率。1932年Ruska发明了以电子束为光源的透射电子显微镜（transmission electron microscope，TEM），电子束的波长要比可见光和紫外光短得多，并且电子束的波长与发射电子束的电压平方根成反比，也就是说电压越高波长越短。目前TEM的分辨力可达0.2nm。 电子显微镜（图2-12）与光学显微镜的成像原理基本一样，所不同的是前者用电子束作光源，用电磁场作透镜。另外，由于电子束的穿透力很弱，因此用于电镜的标本须制成厚度约50nm左右的超薄切片。这种切片需要用超薄切片机（ultramicrotome）制作。电子显微镜的放大倍数最高可达近百万倍、由电子照明系统、电磁透镜成像系统、真空系统、记录系统、电源系统等5部分构成。
表2-2不同光源的波长 名 称 可见光 紫外光 X射线 α射线 电子束 0.1Kv 10Kv 0.123 0.0122 波长（nm） 390~760 13~390 0.05~13 0.005~1 500){this.resized=true;this.style.width=500;}\
图2-12 JEM-1011透射电子显微镜
光学显微镜、TEM、SEM成像原理比较
光学显
微镜、TEM、SEM成像原理比较 （二）、扫描电子显微镜
图2-17 JEOL扫描电子显微镜
扫描电子显微镜（scanning electron microscope，SEM，图2-17、18、19）于20
世纪60年代问世，用来观察标本的表面结构。其工作原理是用一束极细的电子束扫描样品，在样品表面激发出次级电子，次级电子的多少与电子束入射角有关，也就是说与样品的表面结构有关，次级电子由探测体收集，并在那里被闪烁器转变为光信号，再经光电倍增管
科学研究测试方法介绍
