退火处理对溶胶-凝胶法制备AZO薄膜性能的影响

退火处理对溶胶-凝胶法制备AZO薄膜性能的影响

陈雯雯;吕珺;王建民;汤文明;刘君武;吴玉程;郑治祥

【期刊名称】《理化检验-物理分册》 【年(卷),期】2007(043)002

【摘要】采用溶胶-凝胶旋涂法在普通载玻片衬底上制备出Al3+掺杂ZnO(AZO)薄膜.对所制备的薄膜在空气气氛中进行了不同温度(400～600℃)的退火处理,并在500℃下的不同气氛(氢气和氩气)中进行退火处理.利用XRD和SEM等分析手段对薄膜进行了表征,测定了薄膜的透光性.研究表明,随空气中退火温度的提高,ZnO薄膜(002)衍射峰强度得到增强,半高宽逐渐减小,透射率从85%提高到95%.薄膜晶粒尺寸范围为23.50～29.80 nm;在氢气和氩气气氛下退火得到的薄膜性能均优于在空气中退火得到的薄膜性能. 【总页数】5页(55-58,77)

【关键词】溶胶-凝胶;AZO薄膜;退火处理

【作者】陈雯雯;吕珺;王建民;汤文明;刘君武;吴玉程;郑治祥

【作者单位】合肥工业大学材料科学与工程学院,合肥,230009;合肥工业大学材料科学与工程学院,合肥,230009;合肥工业大学材料科学与工程学院,合肥,230009;合肥工业大学材料科学与工程学院,合肥,230009;合肥工业大学材料科学与工程学院,合肥,230009;合肥工业大学材料科学与工程学院,合肥,230009;合肥工业大学材料科学与工程学院,合肥,230009 【正文语种】中文

【中图分类】TB43;O484.4 【相关文献】