1. 解释微系统技术与微电子技术的差异
建议列表格进行比较，优先写标红部分。
2. 比较MEMS封装与IC封装的不同
3. 介绍BioMEMS的分类及其典型结构的工作原理
1） 用于识别和测量生物物质的生物传感器 2） 生物仪器及外科手术工具 3） 生物测试诊断系统 典型结构：
? 生物医学传感器
工作原理：生物物质可与传感器内部的某些元素化学反应释放出某些元素，这些元素可以改变传感器中的电流模式。
参考例图（根据时间决定画不画）：
? 生物传感器
工作原理：基于待检测分析物与生物分子(如酶、抗体或其他形式的蛋白等)的相互作用。
参考例图（根据时间决定画不画）：
4. 介绍微型电动机的工作原理，介绍微型加速度计的典型配置及其工作原
理
1）微型电动机的工作原理：
运动方向W可动电极W+W/3A'B'介电材料C'D'固定电极ABCD
WW
如图所示，对A组电极施加电压，在电场的作用下，A与A’发生相对运动，使得A与A’对齐，但引起了B与B’的错位；接着给B组电极施加电压，B与B’发生相对运动，使得B与B’对齐，但引起了C与C’的错位；继续给C组电极施加电压，C与C’发生相对运动，使得C与C’对齐，但引起了D与D’的错位。如此反复，可动电极就能想着一个方向不断运动。电极间错开的距离越短，电极数越多，运动就越平稳。除了直线电动机，还可以通过类似的方法做出旋转电动机。 2）微型加速计的典型配置及工作原理
典型配置：质量振子、弹簧和阻尼器
弹簧质量振子阻尼器振动基体
工作原理：器件加速运动时，使得基体和弹簧同时加速运动，质量振子为了平衡，也需要弹簧提供一惯性力，从而使得弹簧拉伸（压缩）。通过测量弹簧力的大小，或弹簧引起的变形的大小，或由质量振子和固定基体组成的电容器电容的大小，来测量加速度的大小。阻尼器的作用是减弱弹簧的简谐运动，使质量振子快速稳定，从而快速获得测量值。
MEMS中常用的加速度计有悬梁式加速度计和平衡力式加速度计。悬梁式加速度计中，悬臂梁充当弹簧，质量块为质量振子，腔内流体充当阻尼器，通过测量悬臂梁上的压敏电阻值计算加速度。平衡力式加速度计中薄梁为质量振子，弹簧铰链为弹簧，周围流体为阻尼器，通过测量差动电容计算加速度。
5. 解释硅被优先选择作为MEMS衬底材料的原因。
1） 可以被集成到硅衬底的电子器件上
2） 力学性能稳定，是理想的结构材料，拥有较高的杨氏模量和较小的密度 3） 高温下的尺寸稳定性 4） 热膨胀系数小
5） 没有机械迟滞，硅晶面平整 6） 材料来源广泛，成本较低
7） 设计、制造更灵活，处理、制作工艺成熟
6. MEMS材料中压电晶体材料、聚合物类材料各自特点及应用；如何使聚
合物导电？
1）压电晶体材料：
特点：拥有压电效应（受到压力变形时，能在上线表面产生电压）和逆压电效应（在上下表面施加电压，材料能产生一变形）；通常为固体陶瓷材料
应用：MEMS中的执行器、压电微泵、打印机墨盒、双压电微风扇
2）聚合物材料：
特点：重量轻、成本低、熔点低、电导率差（一般为绝缘体）、处理工艺简单、
MEMS习题1-31分析
