低频高灵敏度中性浮力式MEMS矢量水听器

低频高灵敏度中性浮力式MEMS矢量水听器

刘源;王丽娟;郭楠;赵龙;张文栋;张国军

【期刊名称】《强激光与粒子束》 【年(卷),期】2015(027)005

【摘要】由中北大学研制的微机电系统(MEMS)矢量水听器具有小型化、低频性能好、灵敏度高、指向性好、价格低等特点,但目前该水听器对该低频水声信号的低频探测能力不够,所以进一步提高其灵敏度对水听器的未来的发展至关重要.在声学研究的基础上,提出了中性浮力微结构并确定其参数,该结构加大了外力的有效作用面积,从而提高水听器的灵敏度,采用ANSYS有限元对水听器性能进行仿真,为了验证其可靠性,在驻波场测试水听器的性能.结果表明,该水听器的灵敏度-175 dB,频响范围为20～500 Hz,满足对远距离船舶辐射噪声的探测要求,灵敏度响应曲线的起伏在±1.5 dB以内,具有良好的“8”字型指向性,凹点深度为48.8 dB.

【总页数】5页(219-223)

【关键词】矢量水听器;低频;中性浮力;灵敏度;流固耦合 【作者】刘源;王丽娟;郭楠;赵龙;张文栋;张国军

【作者单位】中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051;中北大学电子测试技术重点实验室,太原030051;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051;中北大学电子测试技术重点实验室,太原030051;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051;中北大学电子测试技术重点实验室,太原030051;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051;中北大学电子测试技术重点实验室,太原030051;中北大学仪器