多弧离子镀(Ti,W)xN合金涂层组织与性能
曾鹏;胡社军;谢光荣;黄拿灿;吴起白
【期刊名称】《材料工程》 【年(卷),期】2000(000)009
【摘要】采用Ti/W复合靶用多弧离子镀技术沉积了(Ti,W)xN合金涂层,并对该涂层的组织与性能进行了研究.结果表明,涂层组织致密,孔隙率极低,主要结构为(Ti,W)2N,并具有较高的显微硬度和抗氧化性.在沉积过程中存在着多元合金涂层与复合靶的成分离析现象,这与靶材的结构有关. 【总页数】4页(33-35,41)
【关键词】多弧离子镀;(Ti,W)xN涂层;组织性能;成分离析 【作者】曾鹏;胡社军;谢光荣;黄拿灿;吴起白
【作者单位】广东工业大学材料能源学院,广州,510643;广东工业大学材料能源学院,广州,510643;广东工业大学材料能源学院,广州,510643;广东工业大学材料能源学院,广州,510643;广东工业大学材料能源学院,广州,510643 【正文语种】中文
【中图分类】TG142;O484 【相关文献】
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多弧离子镀(Ti,W)xN合金涂层组织与性能
