光学MEMS装置和利用该光学MEMS装置的远程传感系统

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201080049817.8 （22）申请日 2010.01.11 （71）申请人 通用电气公司

地址 美国纽约州

（10）申请公布号 CN102639965A

（43）申请公布日 2012.08.15

（72）发明人 D·W·费尔努伊;G·P·科斯特;A·J·克诺布罗赫;F·R·艾哈迈德 （74）专利代理机构 中国专利代理(香港)有限公司

代理人 张金金

（51）Int.CI

G01D5/26; B81B3/00; G01L9/00; G01L7/10; G01R33/02;

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

光学MEMS装置和利用该光学MEMS装置的远程传感系统

（57）摘要

远程传感系统包括：微机电传感器(MEMS)

装置，其包括光能量吸收传感元件，该光能量吸收传感元件通过吸收光信号引发的热膨胀而共

振；远程定位的光源，用于传送驱动光信号以在传感元件中引发共振；和远程定位的读取器电路，用于使用读取器光信号读取传感元件的原始频率，来确定该MEMS装置所受到的状况。

法律状态

法律状态公告日

2012-08-15 2012-10-03 2015-04-01

法律状态信息

公开

实质审查的生效

发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态

公开

实质审查的生效

发明专利申请公布后的视为撤回

权利要求说明书

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