（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利申请
（21）申请号 CN200510060358.4 （22）申请日 2005.08.11 （71）申请人 浙江大学
地址 310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号
（10）申请公布号 CN1731149A （43）申请公布日 2006.02.08
（72）发明人 时尧成;戴道锌;何赛灵;孙淼 （74）专利代理机构 杭州求是专利事务所有限公司
代理人 林怀禹
（51）Int.CI
G01N21/45; H01L49/00; G01B9/02;
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种基于非对称干涉臂马赫曾德干涉仪型传感器
（57）摘要
本发明公开了一种基于非对称干涉臂马赫
曾德干涉仪型传感器。依次包括输入波导，1×2光功分器、两个非对称马赫曾德臂、2×1合波器，输出波导连接而成。本发明的马赫曾德干涉仪的两个臂－参考臂和测量臂分别采用两种宽度不同的波导，波导采用脊型光波导结构，待测液
体作为光波导的覆盖层，待测液体折射率的变化引起的参考臂和测量臂的相位变化不等，从而在输出端引起干涉。通过测量最终的输出能量，可以测量响应的折射率变化。本发明采用非对称马赫曾德臂直接引入相位差，无需刻蚀液体槽，大大简化工艺难度，无需套刻工艺，同时拥有与传统马赫曾德型传感器比拟的特性。
法律状态
法律状态公告日2006-02-08 2006-04-05 2008-11-12 2012-10-10
法律状态信息
公开
实质审查的生效 授权 专利权的终止
法律状态
公开
实质审查的生效 授权 专利权的终止
权利要求说明书
一种基于非对称干涉臂马赫曾德干涉仪型传感器的权利要求说明书内容是....请下载后查看
一种基于非对称干涉臂马赫曾德干涉仪型传感器
