溅射沉积铝合金基CrTiAlN涂层的结构、力学以及摩擦学特性

溅射沉积铝合金基CrTiAlN涂层的结构、力学以及摩擦学

特性

作者：石永敬;潘复生;王维青;杨世才;龙思远;朱光俊

作者机构：重庆大学材料科学与工程学院,重庆400044;重庆科技学院冶金与材料工程学院,重庆401331;重庆大学材料科学与工程学院,重庆400044;重庆大学材料科学与工程学院,重庆400044;Teer Coatings Ltd., West Stone House, Berry Hill Industrial Estate, Droitwich, Worcestershire WR9 9AS, UK;重庆大学材料科学与工程学院,重庆400044;重庆科技学院冶金与材料工程学院,重庆401331

来源：中国有色金属学报 ISSN：1004-0609 年：2011 卷：021 期：009

页码：2099-2104 页数：6

中图分类：TG174.44 正文语种：chi

关键词：CrTiAlN涂层;力学性能;结构特性;摩擦因数

摘要：采用反应非平衡磁控溅射技术制备出一系列LY12铝合金基CrTiAlN多层涂层,并通过X射线衍射仪、纳米压痕仪以及多功能摩擦磨损测试仪来研究CrTiAlN涂层的结构、力学以及摩擦学特性.结果表明:CrTiAlN涂层为以TiN0.9和CrN为主要组织取向的FCC结构,N2水平和衬底负偏压对涂层的力学特性和粘附强度有显著的影响.经过优化参数,在衬底偏压-55V和中N2水平条件下,CrTiAlN涂层的结合强度为10N,显微硬度达到29.87 GPa.