（2）管路系统应采用0.3.0.5MPa的无油干燥压缩空气或纯氮进行吹扫，吹扫气体应设置过滤精度严于0.31tm气体过滤器去除微粒；对输送可燃气体的管路宜采用纯氮吹扫；
（3）在管路系统吹扫气体排出口设靶检查，以靶上未见微粒为合格；对输送可燃气体的管路系统，应以排出口吹扫气体中含氧量小于1％为合格。 （三）纯水供应设施的安装
1、纯水供应设施安装前，应按工程设计文件和产品说明书或合约的要求检查、核对设备 （包括填充的材料、元件等）、阀门和管件的完整性、密封性，并作好检查、核对记录。 2、纯水管道及其阀门、附件的材质，应按工程设计文件和产品生产要求进行选择。 3、单体设备的搬运、就位应符合下列要求：
（1）搬入洁净室（区）内的单体设备，应进行认真清洁后才能搬入；
（2）装有填料或元件的单体设备，应按要求的方向进行搬运、就位，不得倒置； （3）单体设备就位时，应按工程设计文件和产品说明书要求，正确进行定位。 4、洁净室（区）内纯水末端处理设备的安装，应符合下列要求：
（1）纯水管道接管，应在纯水系统安装后经试验及试运转合格后连接； （2）接管、接线后，应按工程设计文件和产品说明书进行试运转。 5、药品和保健品等生产用纯水系统的安装，应符合下列要求：
（1）根据使用特点和工程设计文件要求，准确选择管路材质、阀门、附件，并不得对水质产生污染和引起腐蚀或损伤；
（2）系统安装完成后，按规定进行试验、试运转，合格后按使用要求进行清洗或消毒灭菌，达到规定指标后，宜循环待用。
6、管道系统的试验、试运转，应符合下列要求：
（1）管道系统的试验应按工程设计文件要求进行水压试验。 （2）管道系统的试验、试运转，通常不包括末端处理装置等；
（3）试验合格后，以同等水质的纯水进行清洗，直至在管路末端无杂质、污染物为合格；
（4） 有特殊要求的纯水系统，应按设计要求进行脱脂、清洗、钝化、合格后，并按规定进行消毒灭菌，
（5）纯水水质试验，以本系统同样水质的纯水进行试验，水质分析采样日应为水质要求最严格且距离最长的用户末端处：取样时间间隔为2-4h，以系统的始端、末端的水质相同
为合格。
7、管道清洗应符合下列要求：
（1）管道清洗先以清洁水冲洗，末端检查无杂物后，以同等水质的纯水清洗； （2）清洗时，应关断所有接至单体设备的阀门，管道系统的过滤器滤芯应卸下，待清洗合格后原样恢
（四） 化学品供应设施的安装
1、 本节适用于洁净厂房中工业产品生产所需的酸、碱、有机物质等化学品供应设备、输送管路系统的安装施工质量验收。
2、 化学品供应设施安装前，应按设计文件和产品说明书的要求或合约规定检查设备、容器、阀门和附件的完整性和密封性等，并作检查记录。
3、 化学品供应设施中的各类泵的安装施工应符合现行国家标准《压缩机、风机、泵安装工程施工及验收规范》GB 50275的规定。
4、 洁挣室（区）内化学品输送管道系统的阀门箱等的安装，应符合下列要求：
（1）检查箱体及箱内阀门、仪表和附件的完整性、密封性和合格证书，并作好检查记录； （2）就位安装应按工程设计文件、产品说明书要求进行，并检查接管、接线方位的正确性；
（3）各种管道的连接，应在所在系统吹扫或清洗合格后进行。
5、化学品供应设施的容器、管道及其阀门、附件的材质，应符合工程设计文件要求。 6、容器的搬运、安装就位，应符合下列要求：
（1）搬入洁净室（区）前，应进行清洁，符合要求后从规定的搬入口运入；
（2）容器搬运，应根据容器结构、规格尺寸及接管配置状况，进行可靠的固定，不得倒置；
（3）就位前，检查基础平整度、高度，基础表面的水平度不得大于2%，标高偏差不大于2mm；
（4）容器各接管中心与基础面上的基准线对准、测量，其允许偏差为3mm； （5）容器安装就位后的垂直度，不应大于2‰。
7、 化学品供应设施的低碳不锈钢管、PE管、PVDF管等的管道系统安装施工见相关规定。 8、 管道吹扫或清洗，应符合下列要求：
（1）按各种化学品供应系统，分别在安装完成后分系统进行吹扫或清洗；
（2） 吹扫或清洗宜采用干燥压缩空气或纯氮或清洁水，吹扫介质压力为0.2-0.3MPa：吹扫管道应设置过滤精度严于0.单m的过滤器；
（3） 吹扫清洗时，应关断所有接至各类容器的阀门；管道系统的过滤器滤芯，流量计应卸下，待吹扫后按原样恢复；
（4） 各系统的吹扫应反复多次冲击进行，吹扫时间不宜少于2.0h，并以湿的白色滤纸或白布或涂有白色漆的靶板放在吹扫气排出口，经5min后检查微粒状况。不合格时，继续吹扫，直至合格。
9、 管道系统的试验、试运转应符合下列要求：
（1） 管道系统的试验应按工程设计文件要求进行强度试验、气密性试验，金属管道的试验方法参照现行国家标准《工业金属管道工程施工及验收规范》GB 50235的规定进行； （2）管道系统的试验、试运转，通常不包括各类容器、泵类等设各；
（3）承压管道应进行强度和严密性试验，强度试验的试验压力为设计压力的1.5倍，严密性试验的试验压力为设计压力的1.15倍。非承压管道应进行满水试验；
（4） 试验合格后，以纯水或氮气进行清洗吹扫，直至末端无杂质、污染物为合格。
十四、工程验收
（一） 一般规定
1、 洁净厂房工程施工完成后应进行工程验收，划分为竣工验收、功能验收、使用验收。以确认各项性能参数符合设计、使用和相关标准规范的要求。
2、 竣工验收应由建设单位负责，组织施工、设计、监理等单位进行验收。
3、 功能验收应在竣工验收完成后进行，由建设单位负责，并由具有相应检测资质的第三方进行检测。设计、施工单位配合。
4、使用验收应在功能验收完成后进行，由建设单位负责，可由具有相应检测资质的第三方或由建设单位与第三方共同进行测试。设计、施工单位配合。
5、 洁净厂房工程验收的检测状态分为空态、静态和动态。竣工验收阶段的检测宜在空态下进行；功能验收阶段宜在空态或静态下进行．应由建设方、设计方和施工方协商确定，宜在静态下进行；使用验收阶段的检测应在动态下进行。 （二）洁净厂房的测试
1、 洁净厂房的工程验收中，在进行各项性能检测之前，净化空调系统应正常运行24h以
上．达到稳定运行状态。
2、 检测用仪器仪表均应经过具有相应资质的单位进行标定，并在标定有效期内。 3、 洁净厂房测试应按工程验收阶段分段进行。竣工验收阶段的检测是确认各项设施符合工程设计和合同的要求；功能验收阶段的检测是确认各项设施均能有效、可靠的运行；使用验收阶段的检测是按建设方规定的生产工艺和“动态”活动要求，确认各项设施的有效、可靠的运行。
4、 洁净厂房性能测试项目见下表：
表14.2.4 洁净厂房性能测试项目 序测试项目 号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 空气洁净度等级 风量 平均风速 风速不均匀度 静压差 过滤器安装后的检漏 超微粒子 宏粒子 气流目测 浮游菌、沉降菌 温度 相对湿度 照度 照度均匀度 噪声 微振动 静电测试 自净时间 粒子沉降测试 n 必要时测 检测 检测 检测 必要时测 检测 检测 必要时测 必要时测 必要时测 必要时测 检测 检测 检测 必要时测 检测 必要时测 必要时测 检测 检测 检测 n n 检测 检测 必要时测 必要时测 必要时测 必要时测 检测 检测 单向流 非单向流 20 密闭性测试 检测 n 注：n表示不检测
5、空气洁净度等级的检测是对粒径分布在0.1μm至5.0μm之间的悬浮粒子的粒径和浓度进行测试，空气洁净度等级应符合设计和建设方的要求。
6、根据生产工艺要求，应进行洁净室内浮游菌、沉降菌的检测。
7、 风量和风速的测试，对单向流洁净室的送风量是以测试的平均送风速度乘以送风截面积确定；非单向流洁净室的送风量可采用直接测试或测出风口风速乘以出风截面积确定。
单向流洁净室以送风平均速度、非单向流洁净室以送风量计算得到的换气次数。 8、 压差测试，为检验洁净室（区）与其周围环境之间的规定静压差，应在洁净室（区）的风速、风量和送风均匀性检测合格后进行静压差测试。
9、 已装空气过滤器的检漏，为检验洁净室（区）的高效空气过滤器的完好性和安装质量，在安装后的空气过滤器的上游侧引入测试气溶胶，并及时在送风口和过滤器周边、外框与安装框架之间的密封处进行扫描检漏。检漏测试可在“空态”或“静态”进行。
10、为确认洁净室（区）的气流流型和气流方向，在上述检测达到要求后进行气流流型检测。 11、 为确认净化空调系统对洁净室（区）的温度、相对湿度的控制能力，应在净化空调系统连续、稳定运行后进行检测，达到设计要求。
12、对于空气洁净度等级严于5级的洁净室（区），应对围护结构进行密闭性测试，以确认有无被污染的空气从相邻洁净室（区）或非洁净室（区）通过吊顶、隔墙或门窗渗漏进入洁净室（区）。
13、 洁净室（区）内的噪声测试，应在“空态”或与建设单位协商的状态下进行检测，室内噪声达到标准规定值。
14、 洁净室（区）的照度测试，应在室内温度稳定和光源光稳定状态下进行，室内照度值达到设计要求。
15、 对于非单向流洁净室，应进行自净时间的检测。
16、 当洁净厂房中设有需微振控制的精密设备仪器时，应对微振控制设施的建造质量进行检测，达到设计要求。
17、 根据生产工艺要求，应对洁净室（区）的地面、墙面和工作台面的表面导静电性能进 检测数量：按房间或区域，全数检查。
18、 洁净厂房的每项测试，均应编写测试报告，其主要内容有；
净化板施工组织设计措施方案全套版
