XPS峰处理
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精品资料
实验条件：样品用VG Scientific ESCALab220i-XL型光电子能谱仪分析。激发
源为Al Kα X射线，功率约300 W。分析时的基础真空为3×10-9 mbar。电子结合能用污染碳的C1s峰（284.8 eV）校正。
X-ray photoelectron spectroscopy data were obtained with an ESCALab220i-XL electron spectrometer from VG Scientific using 300W AlKα radiation. The base pressure was about 3×10-9 mbar. The binding energies were referenced to the C1s line at 284.8 eV from adventitious carbon. 处理软件：Avantage 4.15
XPS数据考盘后的处理数据步骤
Origin作图：
1. open Excel文件，可以看到多组数据和谱图，一个sheet 对应一张谱图
及相应的数据（两列）。
2. 将某一元素的两列数据直接拷贝到Origin中即可作出谱图。（注意：X
轴为结合能值，Y轴为每秒计数）
3. 如果某种元素有两种以上化学态，需要进行分峰处理时，按“XPS Peak分峰步骤”进行。
XPS Peak分峰步骤
1．将所拷贝数据转换成所需格式：把所需拟合元素的数据引入Origin后，将column A和C中的值复制到一空的记事本文档中（即成两列的格式，左边为结合能，右边为峰强），并存盘。如要对数据进行去脉冲处理或截取其中一部分数据，需在Origin中做好处理。
2．打开XPS Peak，引入数据：点Data----Import(ASCII)，引入所存数据，则出现相应的XPS谱图。
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XPS分峰处理备课讲稿
