光纤连接器端面的显微干涉测试系统

光纤连接器端面的显微干涉测试系统

李路;王鸣

【期刊名称】《南京师范大学学报（工程技术版）》 【年(卷),期】2009(009)001

【摘要】介绍了一种基于显微干涉的光纤连接器端面的测试系统,干涉仪由Mirau干涉物镜和镜筒透镜组成,CCD相机采集干涉图样,经处理后得到相位分布图.采用Carre相位提取算法,无需进行特定步长的相移.对光纤连接器端面的表面形貌、曲率半径、顶点偏移进行测量,测量系统的横向分辨率可达到0.9μm,重复性测量精度为9.5 nm. 【总页数】4页(84-87)

【关键词】光纤连接器;显微干涉;Mirau物镜;相移干涉;相位提取 【作者】李路;王鸣

【作者单位】南京师范大学,物理科学与技术学院,江苏,南京,210097;南京师范大学,物理科学与技术学院,江苏,南京,210097 【正文语种】中文 【中图分类】O348.1 【相关文献】

1.利用静态干涉图测量光纤连接器端面的曲率半径 [C], 徐永祥; 姚国文; 陈磊; 朱日宏

2.智能化光纤连接器端面干涉测试仪 [J], 林敏; 黄建军; 岑国荣

3.基于显微成像的光纤连接器端面检测系统设计 [J], 陶小平; 冯华君; 徐之海; 许东晖

4.基于数字全息显微术的光纤连接器端面形貌检测技术 [J], 沈亚强; 万旭; 彭保进; 金洪震

5.光纤连接器端面的超声/机械复合研磨 [J], 李新和; 唐永正; 张祁莉

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