? 难闻的气味表明存在危险，请离开危险区域并通知系统负责人员和负责安全的人员。如果发生氨逸出，请关闭气体出口并
确保充分通风，请在手边准备好一套合适的化学保护服和供气式呼吸器，用于紧急情况； ? 氨会污染水。发生事故时，应防止氨渗入地下水；
? 发生火灾时，请在开始灭火前切断气体供应，因为灭火后可能溢出的可燃气体会带来爆炸危险； ? 使用此物质时，请遵守材料安全数据表以及公司内部的操作规程。
1.3.3 硅烷(SiH4) ? 硅烷在与空气接触时会起火，高浓度时会造成窒息。如果发生硅烷逸出，请关闭气体出口并确保充分通风；
? 流出的燃烧气体无法扑灭，扑灭其他任何火源。发生火灾时，请在开始灭火前切断气体供应，因为灭火后可能溢出的可燃
气体会带来爆炸危险；
? 使用此物质时，请遵守材料安全数据表以及公司内部的操作规程。
1.3.4 笑气（N2O） ? 一氧化二氮作为吸入麻醉剂在医药上应用已久，目前已少用。吸入一氧化二氮和空气的混合物，当其中氧浓度很低时
可致窒息；吸入80%一氧化二氮和氧气的混合物引致深麻醉，苏醒后一般无后遗作用；
? 密闭操作，提供良好的自然通风条件。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。远离火种、热源，工作场所严禁
吸烟。远离易燃、可燃物。防止气体泄漏到作场所空气中。避免与还原剂接触。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备。
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第2章 技术数据
2.1 尺寸与重量(详见设备铭牌) 2.2 介质连接
设备中使用的工艺气体的纯度率必须至少达到 99.9999%，并符合半导体技术的要求。
2.3 冷却水
项目 要求 15–25℃ 最少 65 L/min 冷却水入口 无悬浮物质和粒子 最大 8 bar（绝对） 硝酸盐总含量 溶解的固体总含量 水质硬度 17
项目 冷却水出口 pH 值 氯化物总含量 电阻率(25 °C) 溶解的固体总量(TDS) 最大颗粒大小 要求 至少小于冷却水入口 4 巴 > 7 < 9 < 20 ppm > 2500 Ωcm 640 000/电阻率(单位 Ωcm) < 50 μm < 10 ppm < 250 ppm < 250 ppm (在碳酸钙中证实) 2.4 压缩空气
项目 干燥，冷凝点 无油 要求 -40℃ < 0.5 mg/m3 项目 压力 要求 大于4kg小于6kg 2.5 环境空气
项目 颗粒生成 允许的环境温度
要求 项目 要求 50 %，最高 40℃时 最多10个颗粒 > 0.5 μm/m3 允许的最大相对湿度 空气 +5℃至+40℃ 18
第3章 设备安装
3.1 设备结构简介
依组成结构分类：净化台、废气柜、炉体柜、气源柜。
依组成系统分类：电力系统、温控系统、升温系统、推舟运动系统、机械手系统、真空系统、气体控制系统、冷却水系统、高频放电系统。
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各部分的功能如下：
净化台：上下舟、进取舟，工艺舟及硅片的冷却净化，以及工控机的控制操作都在此处进行，包含带机械手PECVD。 炉体柜：包含硅片的镀膜反应室，升温控温系统，炉门的开关装置。 气源柜：为设备工作所需的电源、反应气体接入和反应后气体排出
3.2 设备安装流程
3.2.1 设备拆箱
操作步骤
(1). 用撬棍将两侧木箱左右的木板进行拆卸，再将前后两块板与底座的连接螺丝拆掉，然后将顶上与前后连在一起的三块板
朝任意一侧推出
注意事项 ? 防止撬棍或包装材料碰刮到设备，造成设备刮花或损坏； ? 木板上有螺钉，防止伤人
(2). 用机械叉车将设备与底座一起插起，用高方木垫放在设备四脚空隙处
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PECVD设备标准作业指导书(最新)
