PECVD
2013年6月编1
标准作业指导书
（最新）
目录
第1章 安全知识 ............................................................................................................................................................................................................................ 9
1.1 安全标识说明 .................................................................................................................................................................................................................... 9 1.2 安全知识说明 .................................................................................................................................................................................................................. 10
1.2.1 一般安全知识........................................................................................................................................................................................................ 10 1.2.2 安全装置................................................................................................................................................................................................................ 11 1.2.3 安全装置系统功能（一）.................................................................................................................................................................................... 11 1.2.4 安全装置系统功能（二）.................................................................................................................................................................................... 11 1.2.5 用户公司安全须知（一）.................................................................................................................................................................................... 12 1.2.6 用户公司安全须知（二）.................................................................................................................................................................................... 12 1.2.7 维护及预防性维护（一）.................................................................................................................................................................................... 12 1.2.8 维护及预防性维护（二）.................................................................................................................................................................................... 13 1.2.9 电气系统................................................................................................................................................................................................................ 13 1.2.10 工艺气系统 ........................................................................................................................................................................................................... 14 1.2.11 设备上的安全标签 ............................................................................................................................................................................................... 14 1.2.12 消防安全 ............................................................................................................................................................................................................... 15 1.3 气体安全 .......................................................................................................................................................................................................................... 15
1.3.1 氮气（N2） ........................................................................................................................................................................................................... 15 1.3.2 氨气（NH3） ........................................................................................................................................................................................................ 15 1.3.3 硅烷(SiH4) ............................................................................................................................................................................................................. 16 1.3.4 笑气（N2O） ........................................................................................................................................................................................................ 16
第2章 技术数据 .......................................................................................................................................................................................................................... 17
2.1 尺寸与重量(详见设备铭牌) ........................................................................................................................................................................................... 17 2.2 介质连接 .......................................................................................................................................................................................................................... 17 2.3 冷却水 .............................................................................................................................................................................................................................. 17 2.4 压缩空气 .......................................................................................................................................................................................................................... 18 2.5 环境空气 .......................................................................................................................................................................................................................... 18 第3章 设备安装 .......................................................................................................................................................................................................................... 19
3.1 设备结构简介 .................................................................................................................................................................................................................. 19 3.2 设备安装流程 .................................................................................................................................................................................................................. 20
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3.2.1 设备拆箱................................................................................................................................................................................................................ 20 3.2.2 设备进厂................................................................................................................................................................................................................ 21 3.2.3 设备物料清点和保管............................................................................................................................................................................................ 22 3.2.4 设备定位................................................................................................................................................................................................................ 22 3.2.5 设备合体................................................................................................................................................................................................................ 24 3.3 炉体柜部件安装 .............................................................................................................................................................................................................. 26
3.3.1 石英管安装............................................................................................................................................................................................................ 26 3.3.2 前后过渡法兰安装................................................................................................................................................................................................ 29 3.3.3 后炉门安装............................................................................................................................................................................................................ 29 3.3.4 前炉门安装............................................................................................................................................................................................................ 29 3.3.5 热电偶安装............................................................................................................................................................................................................ 30 3.4 净化台部件安装 .............................................................................................................................................................................................................. 31
3.4.1 推舟部件组装........................................................................................................................................................................................................ 31 3.4.2 SiC杆桨组装......................................................................................................................................................................................................... 32 3.5 气源柜部件安装 .............................................................................................................................................................................................................. 34
3.5.1 真空管道安装........................................................................................................................................................................................................ 34
第4章 设备调试 .......................................................................................................................................................................................................................... 37
4.1 软着陆调试 ...................................................................................................................................................................................................................... 37 4.2 电极杆调试 ...................................................................................................................................................................................................................... 39 4.3 炉门调试 .......................................................................................................................................................................................................................... 41 4.4 冷却水测漏 ...................................................................................................................................................................................................................... 44 4.5 抽真空 .............................................................................................................................................................................................................................. 45 4.6 流量计通讯与设置 .......................................................................................................................................................................................................... 45 4.7 蝶阀学习 .......................................................................................................................................................................................................................... 46 4.8 射频电源试辉光 .............................................................................................................................................................................................................. 47 4.9 特气管道保压 .................................................................................................................................................................................................................. 47 4.10 送特气........................................................................................................................................................................................................................... 48 4.11 升温系统调试............................................................................................................................................................................................................... 49
4.11.1 温控仪调试和设置 ............................................................................................................................................................................................... 49 4.11.2 升温调试 ............................................................................................................................................................................................................... 49
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4.12 机械手调试................................................................................................................................................................................................................... 51
4.12.1 升降台定位及调试 ............................................................................................................................................................................................... 51 4.12.2 小车的调试 ........................................................................................................................................................................................................... 52 4.12.3 一轴调试 ............................................................................................................................................................................................................... 53 4.12.4 机械手与小车、管体、暂存位的联调 ............................................................................................................................................................... 55 4.12.5 触摸屏程序读取与导入方法 ............................................................................................................................................................................... 55 4.12.6 PLC程序的读写 ................................................................................................................................................................................................... 56 4.12.7 伺服放大器参数设定 ........................................................................................................................................................................................... 56 4.12.8 外接放电电阻 ....................................................................................................................................................................................................... 56
第5章 驱动器与电机工作原理及控制图解 .............................................................................................................................................................................. 57
5.1 平移驱动器 ...................................................................................................................................................................................................................... 57
5.1.1 平移驱动器与步进电机、工控机的基本原理图................................................................................................................................................ 57 5.2 上下驱动器与步进电机、工控机的基本原理图 .......................................................................................................................................................... 60
5.2.1 上下驱动器与步进电机的连接方式及工作原理................................................................................................................................................ 60 5.2.2 上下驱动器25针插口示意图.............................................................................................................................................................................. 60 5.3 一体式电机基本工作电路原理 ...................................................................................................................................................................................... 61 第6章 加热系统 .......................................................................................................................................................................................................................... 62
6.1 炉体加热的基本原理 ...................................................................................................................................................................................................... 62 6.2 加热系统及温度控制的介绍 .......................................................................................................................................................................................... 62
6.2.1 炉体结构................................................................................................................................................................................................................ 62 6.2.2 温度控制方式：.................................................................................................................................................................................................... 62 6.3 加热系统的运用与调试 .................................................................................................................................................................................................. 64
6.3.1 加热系统基本原理图及各部件对应关系：........................................................................................................................................................ 64 6.3.2 温控表的通讯设置及其他参数的设置................................................................................................................................................................ 65 6.3.3 温控表与触发板的通讯检测................................................................................................................................................................................ 68 6.3.4 加热电流大小的调节............................................................................................................................................................................................ 68
第7章 射频电源操作说明 .......................................................................................................................................................................................................... 69
7.1 面板说明 .......................................................................................................................................................................................................................... 69
7.1.1 LED状态指示灯 ................................................................................................................................................................................................... 69 7.1.2 数字显示................................................................................................................................................................................................................ 72
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7.1.3 恒定模式LED指示灯 .......................................................................................................................................................................................... 72 7.1.4 模式的选择依靠恒定模式Regulation的两个按键组合选择健 ........................................................................................................................ 73 7.1.5 output ower （面板辉光控制） .......................................................................................................................................................................... 73 7.1.6 Remte（模式选择） ............................................................................................................................................................................................. 73 7.1.7 Taselect 输出档位选择 ........................................................................................................................................................................................ 74 7.1.8 Leval （功率手动设定旋钮） .......................................................................................................................................................................... 75 7.2 外部接线 .......................................................................................................................................................................................................................... 75
7.2.1 用户口（25针D形接头） .................................................................................................................................................................................. 76 7.2.2 用户口的接线图：................................................................................................................................................................................................ 76 7.2.3 功率输出................................................................................................................................................................................................................ 77 7.2.4 水接头.................................................................................................................................................................................................................... 77 7.2.5 电源输入................................................................................................................................................................................................................ 77 7.3 手动辉光操作 .................................................................................................................................................................................................................. 77 7.4 自动辉光 .......................................................................................................................................................................................................................... 79 7.5 RF的基本工作原理 ........................................................................................................................................................................................................ 80
7.5.1 Pulsing 脉冲.......................................................................................................................................................................................................... 80 7.5.2 上电自检................................................................................................................................................................................................................ 80 7.5.3 内部结构................................................................................................................................................................................................................ 81 7.5.4 组成........................................................................................................................................................................................................................ 81 7.6 故障排除 .......................................................................................................................................................................................................................... 82 第8章 机械手操作使用说明 ...................................................................................................................................................................................................... 84
8.1 画面说明 .......................................................................................................................................................................................................................... 84
8.1.1 开机画面................................................................................................................................................................................................................ 84 8.1.2 状态条.................................................................................................................................................................................................................... 84 8.1.3 手动画面................................................................................................................................................................................................................ 85 8.1.4 高级画面进入........................................................................................................................................................................................................ 86 8.1.1 监控画面................................................................................................................................................................................................................ 88 8.1.2 报警画面................................................................................................................................................................................................................ 89 8.2 操作方法 .......................................................................................................................................................................................................................... 90
8.2.1 按钮操作................................................................................................................................................................................................................ 90
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