真空镀膜试验

1. 《薄膜材料制备原理、技术及应用》 —— 唐伟忠著。冶金工艺出版社出版社 2. 《薄膜物理与技术》 —— 杨邦朝，王文生编著。电子科学出版社 3. 《薄膜技术》 —— 王力衡。清华大学出版社 4. 《薄膜技术》 —— 顾培夫。浙江大学出版社

5. 《真空技术物理基础》 —— 张树林。东北工学院出版社 6. 《真空技术》 —— 戴荣道。电子工业出版社

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附录Ⅰ：FZh-2A型复合真空计使用方法

1. 热偶计的使用方法

① 接通电源开关预热十分钟，将《加热－测量》开关放在(加热)位置，调节《电流调节》使

加热器电流达标定值，将《加热－测量》开关放在(测量)位置，从电表第二行读取压强值。 ② 热偶规管的转换，依靠《加热－测量》开关，放在(1)或(2)位置，即可进行转换。(1)位置

对应V1系系统测量；(2)位置对应V2系真空室测量。 2. 电离计的使用方法

① 接通电源预热十分钟，把《发射-零点-测量》开关放在(发射)位置，《去气-测量》开关放

在(测量)位置，接通《规管灯丝》开关，调节《发射调节》旋钮，使发射电流值为5毫安。 ② 把《发射-零点-测量》开关放在(零点)位置，调节《零点调节》旋钮，使电表指零。 ③ 把量程的倍加器开关放在校准位置，《发射-零点-测量》开关放在（测量）位置，调节《校

准调节》旋钮使电表指针指满刻度10处。

④ 把量程的倍加器开关移到10-2、10-3即可测量真空室真空度。

⑤ 《去气-测量》开关一般放在(测量)位置，在电离管需要去气时，可以按②项步骤把发射电

流调节为5毫安，然后把《去气》开关放在(去气)位置。此时《发射-零点-测量》开关放在零点位置即可。在真空度低于10-2 Pa时，不可进行去气，一般去气时间不宜过长约10～15分钟左右，去气时电离规管栅极较红热。

注意：当真空度低于10-1 Pa时，不能接通电离计，电离规管暂时不用时只需断开《规管灯丝》开关即可。

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