7.1.3 确保无关人员不接触产品,不对产品产生静电释放; 7.1.4 对怀疑是静电损伤的产品,需要保存样品并报告给相应的部门作失效分析; 7.1.5 定期检查防静电工衣、工鞋、腕带的ESD品质,如有品质异常,及时向采购部提出采购申请更换; 7.1.6 每天检查ESD设备、台垫等的接地状况(目视),确保接地线正确的连接到ESD总线上; 7.1.7 每六个月要求服务组对防静电地板进行打蜡。 7.2 ESD工程师/技术员,职责包括: 7.2.1 统筹全厂的ESD控制,定期对生产线的静电防护水平做出评估,并给出改善意见,提高其静电防护水平; 7.2.2 负责寻找新的防静电用品的供应商,评估新购的防静电用品的性能; 7.2.3 协助人力资源部进行ESD培训; 7.2.4 监督各个部门的ESD管理情况,及时反映ESD状况; 7.2.5 对生产线的静电损伤样品作失效分析,解决工序中的ESD情况; 7.2.6 定期检查除静电离子发生器的性能,确保其正常工作; 7.2.7 负责对打蜡后的地板进行测量。 7.2.8 责成行政部保证车间内的相对空气湿度在各车间规定的范围内; 7.2.9 定期检查ESD总线的接地状况,确保其状况良好; 7.2.10 定期使用专用的防静电地板蜡水对防静电地板打蜡,打完蜡后进行电阻测试。 7.3 人力资源部,职责包括: 7.3.1 负责对新进厂的员工进行初步的防静电知识培训; 7.3.2 定期对员工进行防静电知识培训,并进行培训的再审核。 7.4 开发部,职责包括: 7.4.1 开发部在设计新产品时应考虑到器件的静电敏感度,尽量选用具有最大静电抗扰度的元件; 7.4.2 在新产品设计阶段应尽量引入防静电网络到电路设计中去,以保护产品里面的静电敏感元件; 7.4.3 要求供应商提供元器件静电敏感度的级别。包括人体模型(HBM)、机器模型(MM)和带电器件模型(CDM) (应列明何种标准); 7.4.4 做好SEF(包括防静电指标,part number等)给QC部,供QC部抽测来料。 7.5 品质部,职责包括: 7.5.1 确定ESDS敏感级别,对成品进行静电放电模拟测试,确认静电敏感度; 7.5.2 根据SEF负责抽测、监控静电敏感器件来料和静电敏感器件产品的品质,如发现异常,应及时反馈信息给ESD工程师或相应的部门。 7.6 设备工程师/技术员,职责包括: 7.6.1 定期检查防静电设备,确保其可以正常使用,包括防静电台垫、地垫、防静电容器、运输工具和其它辅助工具的表面电阻和系统电阻测试等; 7.6.2 定期检查台垫和机器的接地状况,确保接地良好。 7.7 货仓职责包括: 7.7.1 负责货仓防静电措施的维护和管理。 7.7.2 定期通知ESD工程师进行检测使用中的防静电用具。 8 培训 8.1 对所有可能接触或接近ESDS的人员,必须进行相关的ESD知识培训,并加以教育与训练,使之树立有效的ESD防护观念。培训的有效期为一年。人力资源部应填写《》。 8.2 防静电培训的内容包括: 8.2.1 静电学基础和静电损害 8.2.2 静电性能测试 8.2.3 防静电的标示与包装 8.2.4 防静电控制 8.2.5 防静电设备的使用和检测(相关人员) 9 采购 9.1 所有防静电用品的采购均须要按照附录16《防静电制品采购流程图》执行 10 记录 序号 记录名称 责任部门 测量周期 保存期限 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 防静电地板电阻测试记录表 防静电台垫电阻测试记录表 静电带检查记录表 防静电包装袋 容器电阻测试记录表 防静电周转容器电阻测试纪录表 除静电离子发生器测试记录表 防静电手套 指套电阻测试记录表 防静电运输工具 存放架电阻测试记录表 防静电工衣表面电阻测试记录表 员工防静电知识培训考核纪录表 防静电辅料电阻测试记录表 防静电鞋 鞋套测试记录表 厂房接地电阻测试纪录表 工作台地线接地电阻测试纪录表 防静电椅子电阻测试记录表 设备部 品质部 生产部 品质部 品质部 品质部 品质部 品质部 生产部 人力资源部 品质部 生产部 设备部 品质部 品质部 6个月抽测 6个月抽测 每天 每一批抽测 6个月抽测 6个月抽测 每一批抽测 6个月抽测 6个月抽测 一年 6个月抽测 每天 1个月抽测 3个月抽测 6个月抽测 6个月 6个月 1个月 6个月 6个月 6个月 6个月 6个月 6个月 一年 6个月 6个月 一年 1个月 6个月 11 附录a 附录1:《ESDS元器件分类》 I级:(0V ~ 1999V) 序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 序号 1 2 3 4 5 6 7 8 元器件类别 微波器件 分立MOS场效应管 表面声波(SAW)器件 结型场效应管 电荷耦合器件 精密稳压二极管 运算放大器 超高速集成电路 其他集成电路 薄膜电阻器 混合电路 可控硅 元器件类别 分立MOS场效应管 结型场效应晶体管 运算放大器 超高速集成电路 其他集成电路 精密电阻网络 混合电路 包括双极工艺和MOS工艺 包括CMOS、PMOS、NMOS、TTL等 包括ECL、HCMOS、FAST等工艺 使用II级静电敏感元器件组装的混合电路 包括VWOS及VDMOS等等 包括双极型工艺及MOS工艺 包括ECL、HCMOS、FAST等工艺 包括CMOS、PMOS、NMOS、TTL等 使用I级静电敏感元器件组装的混合电路 TA=100℃ TO≤0.175A 条件及说明 包括VMOS、VDMOS等 条件及说明 包括肖特基二极管,点接触二极管,频率大于1GHz的二极管 II级:(2000V ~ 3999V) 低功率双极工艺晶体管 PT<100mW, IC<100mA 附录2:《防静电地板表面电阻/系统电阻测试方法》 1. 按下图确定防静电地板测试点 每一个方格均代表一块地板,测试用的电极一个放在中间的地板上,另外一个电极依次放在此地板相对角的四块地板上面,测量其表面电阻值。 2. 随机抽样测试点不少于20个区域,按下图所示,每点测量地板4点表面电阻值,并记录数据 3. 随机抽样测试点不少于5个区域,按下图所示测量地板系统电阻,并记录数据 附录3:《防静电台垫/地垫电阻测试方法》 1. 按下图所示,每张台垫/地垫测量2组表面电阻值,并记录数据 2. 按下图所示,每张台垫/地垫测量2组对地电阻值,并记录数据 附录4:《防静电容器电阻测试方法》 1. 按下图所示,测量容器表面电阻值,并记录数据 2. 按下图所示,测量容器体积电阻值,并记录数据 附录5:《防静电运输工具/存放架测试方法》 1. 按下图所示,测量运转车/存放架电阻值,并记录数据 附录6:《防静电工衣表面电阻测试方法》 1. 将防静电工衣平坦展开放置在光滑的绝缘电阻大于1E12欧姆的平板表面上 2. 测试用两电极应顺着导电丝放置 3. 按上图所示,测量3个测试点:同片测试(裤腰以上一点对裤腰以下一点);袖对腰下部位测试(袖对裤腰以下一点)(对于连体服,用袖对脚测试取代袖对腰测试);袖对袖测试。其中连体服需要加测鞋套的对地电阻。 附录7:《普通防静电材料电阻测试方法》 1. 对于新引入的物料要求随机抽样至少三个样品,每一个样品至少随机测量三次。材料的测试纪录应包括表面电阻和体积电阻。 2. 表面电阻的测试方法:将材料放置在一个光滑、平整、洁净,且表面绝缘电阻大于1E12欧姆的台面。在材料表面放置两个测试电极(30cm是建议值,如果材料小于这个尺寸,则电极放在两对角面上),如下图所示: 3. 体积电阻的测试方法:将材料放置在一个光滑、平整、洁净,且表面电阻小于10欧姆的金属面上,一个电极放置在金属面上,另外一个电极放置在被测物上。对于烙铁,只需要测量热的金属头到地之间的电阻。 附录8:《防静电工椅的测试方法》 1. 要求随机抽样至少5个样品,每一个样品至少随机测量三次(三个点)。防静电工椅的测试纪录应包括表面电阻和体积电阻。 2. 表面电阻的测试方法:在表面放置两个测试电极,如下图所示: 3. 体积(对地)电阻的测试方法:一个电极放置在金属面上,另外一个电极放置在椅子上。注意,在生产线进行定期检测的时候,允许直接把一个电极放置在防静电地板上,另外一个电极放置在椅子上。 附录9:《物体表面的静电压测量方法》 1. 使用Simco FMX002静电压表去测量物体表面的静电压,要注意以下几点:仪表的红外灯指示器要两个重合,才算对焦,此时仪表距离被测物大约2.5厘米。静电压表在使用的过程中需要接地。否则读数不准确。静电压表的读数的单位为KV。测试图例如下: 附录10:《悬挂式/台式离子风机测试方法》 1. 测量悬挂式离子风机应使用标准的离子风机测试仪,在评估新引入的离子风机时候需要测量标准的12个点的平衡电压和消电时间。在平时的定期测量时,只需测量3个风扇口正下方的平衡电压和消电时间。标准的12个点(以小网格表示)如下所示: 2. 对每一个点均应测量不少于三次。对每一个测试点的平衡电压的测量时间不得少于1分钟。应纪录平衡电压的最大(偏移零点最远)值。消电时间应纪录最大值。 3. 对新引入的悬挂式离子风机的要求列表:(ANSI / ESD / ANSI / ESD 只对平衡电压提出了要求,未强制规定消电时间,因此,下表的平衡电压是强制执行,消电时间只是建议值) 位置 Center 30 cm Left TP5&TP8 TP2&TP11 TP1&TP10 TP4&TP7 低风速 平衡电压(V) 0 + 50 V 0 + 50 V 0 + 50 V 消电时间 (S) < 15 s < s < s < s < s 高风速 平衡电压(V) 0 + 50 V 0 + 50 V 0 + 50 V 消电时间 (S) < 10 s < s < s < s < s 30 cm Right TP3&TP12 TP6&TP9 < s < s 4. 测量台式离子风机应使用标准的离子风机测试仪测试,在评估新引入的离子风机时候需要测量标准的12个点的平衡电压和消电时间。在平时的定期测量时,只需测量正对风扇口30厘米和60厘米两个点的平衡电压和消电时间。标准的12个点(以黑竖条表示)如下所示: 5. 对每一个点均应测量不少于三次。对每一个测试点的平衡电压的测量时间不得少于1分钟。应纪录平衡电压的最大(偏移零点最远)值。消电时间应纪录最大值。 6. 对新引入的台式离子风机的要求列表:(ANSI / ESD / ANSI / ESD 只对平衡电压提出了要求,未强制规定消电时间,因此,下表的平衡电压是强制执行,消电时间只是建议值) 位置 1ft(TP2) center 2ft(TP5) 3ft(TP8) 4ft(TP11) 1ft(TP1) 30 cm 2ft(TP4) Left 3ft(TP7) 4ft(TP10) 1ft(TP3) 30 cm 2ft(TP6) Right 3ft(TP9) 4ft(TP12) 0 + 50 V 0 + 50 V 0 + 50 V 低风速 平衡电压(V) 消电时间 (S) < s < s < s < s NA < s < s < s NA < s < s < s 0 + 50 V 0 + 50 V 0 + 50 V 高风速 平衡电压(V) 消电时间 (S) < s < s < s < s NA < s < s < s NA < s < s < s 附录11《手套/手指套的测量方法》 1. 穿戴对地电阻测试:操作员把测试仪的两个电极分别放在两块互相绝缘的金属板上面, 然后操作员戴上手套/手指套。操作员把戴有手套/手指套的大拇指和食指分别按住那两块金属板,然后按下测量开关,并等读数稳定后读出测试仪上的读数,并记录下来。操作员分别用大拇指和其它的手指按住金属板,然后读出测试仪上的读数,并记录下来。每一种手套/手指套均需要测量5个(含)以上的样品,每次测量均记录最大值。 2. 表面摩擦电压测试:操作员戴上1兆欧的标准手腕带,鳄鱼夹夹在接地线上面并确认接地良好。操作员戴上手套/手指套。一只手拿取高绝缘的塑料板,另一只手/手指摩擦塑料板十次,然后测量手套/手指套上面的静电压,记录最大值。注意:仪器要离绝缘板30厘米以上,以免影响读数。每一种手套/手指套均需要测量5个(含)以上的样品,每次测量均记录最大值。 附录12防静电标准列表: 防静电包装袋/容器 防静电小推车/周转车 防静电镊子/吸钳/吸锡器 防静电文件袋(夹) 防静电烙铁 表面电阻 1E4? ~ 1E11? 小于1E9? 1E4? ~ 1E11? 1E4? ~ 1E11? 系统/穿戴电阻 1E4~1E9? 1E4? ~ 1E10? 小于1E9? 1E5? ~ 1E10? 小于10? 小于1E9? 小于10? ~? 小于10? 1E4? ~ 1E11? 小于1E9? 消电时间 摩擦/平衡电压 防静电地板/防静电台垫/地垫 1E4~1E9? 防静电架子/元件架/防静电椅 小于1E9? 设备/工作台接地电阻(直接) 设备/工作台接地电阻(带电阻) 厂房接地电阻 一般防静电物料 防静电工作服 1E4? ~ 1E11? 1E5? ~ 1E10? 防静电工作鞋 防静电手腕带 防静电手套/指套 防静电工作鞋 防静电手腕带 防静电离子风机(悬挂式) 小于1E9? 1E5? ~ 1E11? 1E5? ~ ? ? ~ ? <3Second (正中央) <50V ?50V 小于1E3? 1E6? ?20% <10Second (正下方) ?50V 防静电离子风机/风枪(台式) 附录13 测量仪器的选择 1. 表面电阻及体积电阻的测量应由专用的电阻表测量,所有电阻大于1E3欧姆的均由兆欧表测量(具备10V和100V测试电压),所有小于1E3欧姆的均由万用表测量。所有接地线的接地电阻均由数字万用表测量。 2. 静电中和时间和平衡电压由离子风机测试仪测量,(显示精度为1V,最高量程为1KV,时间精度最为) 3. 材料的摩擦电压由非接触式静电压表测量(显示精度为10V,最高量程为20KV,测量精度?10%) 附录14 防静电标识 见到此标识,则说明此工作区域或产品是静电敏感的,进入此区域或操作此产品时需要做好防静电准备。 见到此标识,则说明此产品是静电敏感的,同时也是经过防静电包装的,可以进行运输使用。拆开包装前需要做好防静电准备。 用黄黑相间的斜条纹隔开防静电工作区域与普通工作区域,线条宽度为5 ~ 10 cm,如上图所示。 附录15 定期检查的覆盖范围 1. 防静电制品均须定期检查,检查的范围按照下表来定 类别 全检 抽检 工衣、工鞋、手腕带,离子风机和烙铁 台垫、地板、吸塑盒和别的防静电用品 2.检查的比率如下: 工衣、工鞋、手腕带,离子风机和烙铁均为全测。 防静电地板的测试比率按照厂房验收时的测试图进行,即每层楼不少于50个点。 防静电台垫和防静电工椅等生产线的固定用品每条生产线测试不少于3个。 每种防静电吸塑盒抽测不少于20个。 防静电手套/手指套等易耗品,每批测量不少于10个人每天的用量。 剩余的防静电用品不得少于10个。 附录16 防静电制品采购流程图 各个相关部门向 ESD工程师提出所需的防静电制品 已有评估报告 从无评估 有无评估 ESD工程师和相关部门寻找供相关部门复印评估报告及所 报告? 应商并要求供应商提供样品选的供应商的报价单连同PR 。 单并经制造部经理确认后, 递交给采购部
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