(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(21)申请号 CN201520867819.8 (22)申请日 2015.11.03
(71)申请人 北京卓锐微技术有限公司
地址 100191 北京市海淀区知春路23号量子银座1002室
(10)申请公布号 CN205051874U
(43)申请公布日 2016.02.24
(72)发明人 万蔡辛;朱佳辉
(74)专利代理机构 北京成创同维知识产权代理有限公司
代理人 蔡纯
(51)Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
(54)发明名称
MEMS麦克风
(57)摘要
本实用新型公开了一种MEMS麦克风,包
括:衬底;第一支撑层,设置于衬底上;振膜层,振膜层包括锚区和可振动的膜层,锚区设置于第一支撑层上,膜层可移动地连接锚区;第二支撑层,设置于振膜层的锚区之上;背极板,背极板的一部分与膜层通过电介质流体分开,背极板的另一部分设置于第二支撑层上;第一导电层,设置于第二支撑层上;第一焊盘,设置于背极板上;以及第二焊盘,设置于第一导电层上,
其中,第一导电层与背极板彼此电隔离,并且第一导电层连接振膜层。本实用新型的麦克风通过设置与背极板等高的第一导电层,第一导电层将振膜层引出,将第二焊盘设置在第一导电层上,减少了焊盘之间的高度差,使焊盘更容易制备,降低了打线的难度。
法律状态
法律状态公告日2016-02-24 2016-02-24 2018-08-10
法律状态信息
授权 授权
专利申请权、专利权的转移
法律状态
授权 授权
专利申请权、专利权的转移
权利要求说明书
MEMS麦克风的权利要求说明书内容是....请下载后查看
MEMS麦克风
(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)实用新型专利(21)申请号CN201520867819.8(22)申请日2015.11.03(71)申请人北京卓锐微技术有限公司地址100191北京市海淀区知春路23号量子银座1002室(10)申请公布号C
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