MEMS麦克风

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）实用新型专利

（21）申请号 CN201520867819.8 （22）申请日 2015.11.03

（71）申请人 北京卓锐微技术有限公司

地址 100191 北京市海淀区知春路23号量子银座1002室

（10）申请公布号 CN205051874U

（43）申请公布日 2016.02.24

（72）发明人 万蔡辛;朱佳辉

（74）专利代理机构 北京成创同维知识产权代理有限公司

代理人 蔡纯

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

MEMS麦克风

（57）摘要

本实用新型公开了一种MEMS麦克风，包

括：衬底；第一支撑层，设置于衬底上；振膜层，振膜层包括锚区和可振动的膜层，锚区设置于第一支撑层上，膜层可移动地连接锚区；第二支撑层，设置于振膜层的锚区之上；背极板，背极板的一部分与膜层通过电介质流体分开，背极板的另一部分设置于第二支撑层上；第一导电层，设置于第二支撑层上；第一焊盘，设置于背极板上；以及第二焊盘，设置于第一导电层上，

其中，第一导电层与背极板彼此电隔离，并且第一导电层连接振膜层。本实用新型的麦克风通过设置与背极板等高的第一导电层，第一导电层将振膜层引出，将第二焊盘设置在第一导电层上，减少了焊盘之间的高度差，使焊盘更容易制备，降低了打线的难度。

法律状态

法律状态公告日2016-02-24 2016-02-24 2018-08-10

法律状态信息

授权 授权

专利申请权、专利权的转移

法律状态

授权 授权

专利申请权、专利权的转移

权利要求说明书

MEMS麦克风的权利要求说明书内容是....请下载后查看