平面平晶检定装置计量标准技术报告

计 量 标 准 技 术 报 告

计

量标准名称 平面平晶检定装置

计 量 标 准 负 责 人 建标单位名称（公章）

填 写 日 期 2020年02月20日 21

目 录

一、建立计量标准的目的…………………………………………………… ( 3 ) 二、计量标准的工作原理及其组成……………………………………( 3 ) 三、计量标准器及主要配套设备…………………………………………( 4 ) 四、计量标准的主要技术指标………………………………………( 5 ) 五、环境条件……………………………………………………………( 5 ) 六、计量标准的量值溯源和传递框图………………………………………( 6 ) 七、计量标准的稳定性考核…………………………………………………( 7 ) 八、计量标准的重复性试验……………………………………………………( 8 ) 九、检定或校准结果的不确定度评定…………………………………( 9 ) 十、检定或校准结果的验证…………………………………………………( 20 ) 十一、结论……………………………………………………………………( 21 ) 十二、附加说明…………………………………………………………………( 21 )

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一、建立计量标准的目的 平面平晶和平行平晶均为平直度计量仪器，在生产中起到重要作用。为严格贯彻落实《计量法》和《实施细则》，保证检测产品时测量值的准确可靠，特建立本检定装置。 二、计量标准的工作原理及其组成 平面平晶工作面的平面度是使用标准平晶做标准器，在平面等厚干涉仪上测量的。测量时仪器箱内工作台上安装φ100mm 2等标准平晶，使其工作面朝上，然后在其中部安放被测平晶（被测工作面朝下），同时在标准平晶和被测平晶工作面之间放入三片尖角形薄纸垫以便于调整干涉条纹。点亮仪器钠灯，并使其预热，在目镜视场可见干涉条纹，通过调整纸垫，使视场出现3或5条黑色干涉条纹，用目镜测微器测得干涉条纹间距a和干涉条纹弯曲量b，然后通过计算获得被测平晶工作面平面度。 21