集成电路 版图设计与
解析
.
1
1、Introduction
IC – Integrated circuits
Wafer, die and chip
CMOS Process
Modern CMOS Process Photo-Lithographic Process
Mask View
2
3
Chip View
Bipolar logic 1960’s
ECL 3-input Gate Motorola 1966
4
Wafer， die， chip
From http://www.amd.com
Single die
Wafer
Going up to 12” (30cm)
5
集成电路版图设计与解析
集成电路版图设计与解析.11、IntroductionIC–IntegratedcircuitsWafer,dieandchipCMOSProcess
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