(1-x)TiO2-xTa2O5薄膜的光学性能研究
王汉华;薛亦渝;郭培涛;张光勇;马中杰
【期刊名称】《光电工程》 【年(卷),期】2008(035)003
【摘要】TiO2-Ta2O5薄膜是较新颖的光学薄膜,由均匀混合的两种化合物薄膜材料作为膜料研制而成,本文采用离子辅助蒸发的方法,以不同配比的Ta2O5和TiO2混合物为初始膜料在K9玻璃上制备了TiO2-Ta2O5混合薄膜,并对其光学性能进行研究.实验结果表明,TiO2-Ta2O5薄膜在可见光范围内有较高的透射率,消光系数在10-3～10-4数量级,折射率在1.80～2.07范围内变化(550nm),是理想的光学镀膜材料.随着Ta2O5含量从0增加到20%,光学带隙从3.266eV单调增加到3.417eV,并用Kayanuma提出的模型解释了透射谱中吸收边的漂移现象.
【总页数】4页(84-87)
【关键词】薄膜;TiO2-Ta2O5;透射率;光学常数;光学带隙 【作者】王汉华;薛亦渝;郭培涛;张光勇;马中杰
【作者单位】武汉理工大学,材料科学与工程学院,武汉,430070;武汉理工大学,材料科学与工程学院,武汉,430070;武汉理工大学,材料科学与工程学院,武汉,430070;武汉理工大学,材料科学与工程学院,武汉,430070;武汉理工大学,材料科学与工程学院,武汉,430070 【正文语种】中文 【中图分类】TB43 【相关文献】
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